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微電子潔凈棚潔凈度標(biāo)準(zhǔn),微電子潔凈棚設(shè)計(jì)

2022-08-20 Visits:

微電子潔凈棚潔凈度標(biāo)準(zhǔn),微電子潔凈棚設(shè)計(jì).武漢得創(chuàng)凈化專業(yè)從事潔凈棚-無塵棚-凈化棚-潔凈|無塵|凈化工作棚的生產(chǎn)制造商(027-82289886)專業(yè)的工程定制設(shè)計(jì),包測(cè)量,包安裝,貫徹質(zhì)量+品質(zhì)+服務(wù)的宗旨。
凈化棚,潔凈棚是一種可提供局部高潔環(huán)境的空氣凈化設(shè)備,根據(jù)等級(jí)和結(jié)構(gòu)可分為:百級(jí)潔凈棚,千級(jí)潔凈棚,萬級(jí)潔凈棚和可移動(dòng)式潔凈棚等。潔凈棚的潔凈度往往受到氣流的影響,也就是說無論是人或機(jī)器隔間,建筑結(jié)構(gòu)等所產(chǎn)生的塵埃隨之移動(dòng),擴(kuò)散受到氣流的支配。

微電子潔凈棚作用說明

潔凈棚是一種投資少、凈化等級(jí)高、移動(dòng)方便的簡(jiǎn)易凈化裝置。本產(chǎn)品是醫(yī)藥衛(wèi)生、生物制品、食品、電子等行業(yè)理想的采樣和貨物輸送的移動(dòng)設(shè)備。機(jī)身支架采用鐵方通噴塑,風(fēng)機(jī)過濾單元FFU送風(fēng),潔凈層流罩FFU放置在由專業(yè)純化鋁型材組裝而成的框架上。接縫周圍采用防靜電窗簾/防靜電有機(jī)玻璃,底部采用正壓自然通風(fēng),形成密接縫區(qū)域。內(nèi)部?jī)艋燃?jí)可達(dá)10-100000級(jí);特別適用于車間局部?jī)艋燃?jí)。流水線等要求高的區(qū)域。高精度產(chǎn)品組裝區(qū)。移動(dòng)方便;適用于建造小型潔凈區(qū)。模塊化結(jié)構(gòu),易于提高提純水平,擴(kuò)展性強(qiáng),復(fù)用價(jià)值高;與超凈工作臺(tái)相比,內(nèi)部可用有效空間大;與傳統(tǒng)無塵室相比,成本低,施工快,層高不受限制。潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈度和溫濕度,使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造,從而我們稱之為潔凈室。按照國(guó)際慣例,無塵凈化等級(jí)主要是根據(jù)空氣中直徑大于每立方米分類標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。
也就是說,所謂的無塵,并不是100%沒有一點(diǎn)灰塵,而是控制在極少量的單位。當(dāng)然,這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物相對(duì)于我們常見的粉塵來說是非常小的,但是對(duì)于光學(xué)結(jié)構(gòu)來說,一點(diǎn)點(diǎn)粉塵就會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響,所以在光學(xué)結(jié)構(gòu)產(chǎn)品的生產(chǎn)中,粉塵-免費(fèi)是必然的要求。粒徑小于0.3微米的顆粒數(shù)量控制在每立方米3500個(gè)以下,達(dá)到國(guó)際無塵標(biāo)準(zhǔn)A級(jí)。目前芯片級(jí)生產(chǎn)加工采用的無塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)粉塵的要求比A級(jí)要高,這樣高的標(biāo)準(zhǔn)主要用在一些更高級(jí)別的芯片生產(chǎn)上。細(xì)塵數(shù)量嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi),在業(yè)界也稱為1K級(jí)別。

微電子潔凈棚效果圖 微電子潔凈棚效果圖
   

微電子潔凈棚潔凈度標(biāo)準(zhǔn)

1.塵粒最大允許數(shù)(每立方米);
2.大或等于0.5微米的粒子數(shù)不得超過3500000個(gè),大或等于5微米的粒子數(shù)不得超過20000個(gè);
3.微生物最大允許數(shù);
4.浮游菌數(shù)不得超過500個(gè)每立方米;
5.沉隆菌數(shù)不得超過10個(gè)每培養(yǎng)皿。
壓差:相同潔凈度等級(jí)的潔凈棚壓差保持一致,對(duì)于不同潔凈等級(jí)的相鄰潔凈棚之間壓差要≥5Pa,潔凈棚與非潔凈棚之間要≥10Pa。

微電子潔凈棚效果圖 微電子潔凈棚效果圖
   

微電子潔凈棚中國(guó)藥品生產(chǎn)潔凈棚(區(qū))的空氣潔凈度標(biāo)準(zhǔn)


中國(guó)潔凈棚(區(qū))的空氣潔凈度標(biāo)準(zhǔn)


潔凈度級(jí)別

塵埃最允許數(shù)/立方米

微生物最大允許數(shù)

≥0.5um

≥5um

浮游菌個(gè)/立方米

沉降菌個(gè)/皿.30min

100

3500

0

5

1

10000

350,000

2,000

100

3

100000

3,500,000

20,000

500

10

300000

10,500,000

61,800

NA

15

國(guó)家藥品監(jiān)督管理局1999年8月1日發(fā)布實(shí)施



 

微電子潔凈棚效果圖 微電子潔凈棚效果圖
   

微電子潔凈棚設(shè)計(jì)

1.在測(cè)量潔凈棚內(nèi)的氣體濕度和相對(duì)濕度之前,空調(diào)凈化系統(tǒng)應(yīng)已連續(xù)運(yùn)行至少24小時(shí)。對(duì)于有溫控規(guī)定的場(chǎng)地,按相對(duì)溫度和相對(duì)濕度波動(dòng)范圍的規(guī)定,應(yīng)連續(xù)測(cè)量8-48小時(shí),每次測(cè)量之間的距離不得超過30mm。
2.根據(jù)溫度和相對(duì)濕度的波動(dòng)范圍,應(yīng)使用相應(yīng)的具有足夠精度的儀表板進(jìn)行測(cè)量。潔凈棚的溫度和濕度
3.潔凈棚內(nèi)的測(cè)點(diǎn)一般布置在以下幾個(gè)地方:
3.1 送風(fēng)和回風(fēng)管道;
3.2 棚在溫控工作時(shí)有象征性的地址(如沿工藝工藝周邊布置或等距布置);
3.3 棚芯(溫控規(guī)定沒有系統(tǒng)軟件,溫濕度只測(cè)這個(gè)點(diǎn));
3.4 在光敏電阻處。
所有測(cè)量點(diǎn)應(yīng)處于相同的相對(duì)高度,距道路 0.8m。根據(jù)溫控棚的大小,可在遠(yuǎn)離地面的多個(gè)平面布置。測(cè)量點(diǎn)應(yīng)距墻體表面0.5m以上。

微電子潔凈棚效果圖 微電子潔凈棚效果圖
   

微電子潔凈棚根據(jù)使用需求設(shè)計(jì)制作

1.氣流的重要性
潔凈棚的潔凈度往往受氣流的影響,即人、機(jī)艙、建筑結(jié)構(gòu)等產(chǎn)生的粉塵的運(yùn)動(dòng)和擴(kuò)散受氣流支配。
無塵室采用HEPA和ULPA過濾空氣,集塵率高達(dá)
99.97~99.99995%,所以這個(gè)過濾器過濾出來的空氣可以說是很干凈了。但是,除了人之外,無塵室內(nèi)還有機(jī)器等塵源。一旦產(chǎn)生的灰塵擴(kuò)散,就不可能保持一個(gè)干凈的空間。因此,產(chǎn)生的粉塵必須通過氣流迅速排出室外。
2.風(fēng)速控制
潔凈室的氣流是影響潔凈室性能的重要因素。一般潔凈室的氣流速度在0.25~0.5m/s之間。此風(fēng)速為微風(fēng)區(qū),易受人、機(jī)影響,因空調(diào)等的運(yùn)轉(zhuǎn)而容易產(chǎn)生混亂。雖然提高風(fēng)速可以抑制這種干擾的影響,保持清潔,但風(fēng)速的增加會(huì)影響運(yùn)行成本的增加,所以應(yīng)該能夠滿足要求的清潔度等級(jí)。以最合適的風(fēng)速供應(yīng),達(dá)到合適的風(fēng)速供應(yīng),達(dá)到經(jīng)濟(jì)的效果。另一方面,為了達(dá)到潔凈室潔凈度的穩(wěn)定效果,保持氣流均勻也是一個(gè)重要因素。如果不能保持均勻的氣流,則意味著風(fēng)速不同。實(shí)現(xiàn)高清潔度實(shí)際上是困難的。
為保持垂直層流方向的氣流均勻,
(a) 吹出面上的風(fēng)速不得有速度差;
(b) 地板回程板吸風(fēng)面上的風(fēng)速不得有風(fēng)速差。當(dāng)速度過低或過高(0.2m/s、0.7m/s)時(shí),都會(huì)產(chǎn)生渦流,而速度為0.5m/s時(shí),氣流更均勻。 0.25~0.5m/s之間。

微電子潔凈棚效果圖 微電子潔凈棚效果圖
   

專業(yè)從事潔凈棚經(jīng)營(yíng)的公司推薦:

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