半導(dǎo)體廠凈化車間潔凈棚訂制規(guī)定(配高效過濾器、不銹鋼風(fēng)淋室)
半導(dǎo)體廠凈化車間特點決策其生產(chǎn)制造全過程一定有潔凈度規(guī)定,半導(dǎo)體廠潔凈棚訂制規(guī)定百級潔凈棚,百級潔凈棚是一種簡單的凈化室,可迅速提升地區(qū)潔凈度的機器設(shè)備。以工業(yè)鋁型材(或不銹鋼板鋁方通、鐵鋁方通烤漆工藝)做為架構(gòu),選用密布離心風(fēng)機過濾網(wǎng)發(fā)電機組FFU排風(fēng),四周圍用抗靜電卷簾(或鋼化夾膠玻璃),內(nèi)部凈化處理等級可達百級,潔凈棚因為其成本低、省時省力、靈便拼裝,普遍用以光學(xué)、電子器件流水線生產(chǎn)、試驗室、拼裝地區(qū)等部分高潔凈度場所。
百級潔凈棚的潔凈度通常遭受氣流的危害,換句話說,即人、設(shè)備隔斷、建筑構(gòu)造等所造成的塵埃之挪動、蔓延遭受氣流的操縱。恰好是由于那樣,因此百級潔凈棚的頂端務(wù)必密布高效過濾器排風(fēng)模塊,并且務(wù)必根據(jù)不銹鋼風(fēng)淋室出入。
百級潔凈棚運用HEPA級高效過濾器過慮氣體,其塵埃的搜集率達99.97~99.99995%之多,因而通過此過濾裝置過慮的氣體可說十分整潔。殊不知清潔房間內(nèi)除開人之外,還有設(shè)備等之發(fā)塵源,這種產(chǎn)生的塵埃一旦蔓延,即沒法維持清潔室內(nèi)空間,因而務(wù)必運用氣流將產(chǎn)生的塵??焖倥懦鰜響敉?。
百級潔凈棚原理:
要使內(nèi)部凈化處理等級做到百級(100級)或以上就需要使屋內(nèi)的清潔氣流產(chǎn)生單邊豎直流。就是在潔凈棚內(nèi)的氣流在同一橫截面的隨意一點氣流的方位和速率保持一致,那樣就可以使清潔氣流象活塞桿一樣將房間內(nèi)的塵埃顆粒以最短的時間帶去。要完成豎直流就需要將高效過濾器鋪滿房頂,才可以完成單邊豎直流,做到潔凈度100級或以上的等級。
而針對百級到十萬級的(1K-100K)潔凈棚:
其氣流機構(gòu)方位和Class1-100潔凈棚不一樣,內(nèi)部的氣流是以不勻稱的速率呈不平行面流動性,伴隨流回和渦旋,它關(guān)鍵靠清潔的氣流持續(xù)稀釋液內(nèi)部氣體,將里面的危害慢慢排出來,來完成清潔實際效果。要完成潔凈棚的級別不一樣,主要是借助單位時間內(nèi)所送排風(fēng)量的差異來完成的。
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